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  • MEMS傳感器設(shè)計(jì)需要考慮什么
    MEMS傳感器設(shè)計(jì)需要考慮什么

    2022-06-10

    MEMS傳感器也稱作是微機(jī)電系統(tǒng),它涉及多門學(xué)科,綜合性比較強(qiáng),應(yīng)用前景廣闊,是當(dāng)今備受矚目的領(lǐng)域之一。 MEMS設(shè)計(jì)是長期技術(shù)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶,有...

  • 聊一聊激光微納制造技術(shù)
    聊一聊激光微納制造技術(shù)

    2022-06-02

    激光微納制造技術(shù)是微納制造技術(shù)的重要部分,涉及光學(xué),物理,材料,化學(xué),生物,機(jī)械,控制等多門學(xué)科,綜合性較強(qiáng)。它具體是指激光與材料在某種特定...

  • 微納加工技術(shù)的國內(nèi)應(yīng)用現(xiàn)狀
    微納加工技術(shù)的國內(nèi)應(yīng)用現(xiàn)狀

    2022-05-26

    基于制造業(yè)對加工精度的要求日益提高,微納加工技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生,從誕生至今,其應(yīng)用領(lǐng)域得到了很大擴(kuò)展。就國內(nèi)而言,微納技術(shù)除了應(yīng)用在微電子技術(shù),生...

  • mems熱電堆芯片加工
    mems熱電堆芯片加工

    2022-05-20

    常見的MEMS設(shè)計(jì)熱電堆傳感器有封閉膜式和懸臂梁式。 傳統(tǒng)熱電堆芯片采用濕法腐蝕工藝,CMOS-MEMS熱電堆芯片則采用干法腐蝕工藝。

  • 微納制造技術(shù)在傳感器的應(yīng)用
    微納制造技術(shù)在傳感器的應(yīng)用

    2022-05-05

    微納制造技術(shù)是建筑納米科技大廈的基石之一,其在傳感器上的應(yīng)用成果即MEMS傳感器,包括壓力傳感器,加速度傳感器,圖像傳感器等。這些傳感器在醫(yī)...

  • mems設(shè)計(jì)之硅壓阻式壓力傳感器設(shè)計(jì)
    mems設(shè)計(jì)之硅壓阻式壓力傳感器設(shè)計(jì)

    2022-04-12

      mems設(shè)計(jì)之硅壓阻式壓力傳感器,顧名思義就是通過感知壓力變化工作的傳感器,其原理是敏感膜受壓后發(fā)生形變,引起惠斯通電橋的不平衡變化,繼而...

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